В зависимости от задач Заказчика установка может быть укомплектована подогреваемым или охлаждаемым столом.

Автоматизированная шлюзовая установка Caroline PECVD15 плазмостимулированного осаждения слоёв из газовой фазы.

Установка поштучной обработки пластин диаметром до 200 мм. снабжена генератором плазмы высокой плотности (патент РФ № 2 171 555) со своим ВЧ-генератором возбуждения плазмы (частотой 13,56 МГц) и специальным столом с подачей от независимого генератора ВЧ-смещения для вытягивания и ускорения ионов из плазмы.