Вакуумно-технологические автоматизированные установки Caroline D12B2 и Caroline D12B3 предназначены для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.) подложки размером до Ø150 мм. (максимальная плоскость обрабатываемых деталей 150×350 мм.)

НАЗНАЧЕНИЕ

Автоматизированная установка Caroline D12B2 комплектуется магнетронами для распыления любых материалов, например, резистивные сплавы Cu, Cr, Ni, Al и т.п.

Существенным отличием установки Caroline D12B3 является сложная дверь (с двумя нагревателями и ионным источником), которая дает возможность установки 8-ми магнетронов, тогда как в установку Caroline D12B2 может быть установлено максимум 7 магнетронов.

Автоматизированная установка Caroline D12B2 предназначена для двустороннего магнетронного напыления на керамические, кремниевые и любые плоские (толщина не более 30 мм.)подложки.